直流脉冲离子渗氮电源系列（PN-Ⅲ，PN-Ⅳ）
带辅助电阻加热型直流脉冲离子渗氮电源系列（PN-Ⅲ，PN-Ⅳ）的主要技术指标
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指标/型号 |
30A |
50A |
75A |
100A |
150A |
200A |
300A |
500A |
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输出电压幅值（V） |
0~1000连续可调 |
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输出电流峰值（A） |
75 |
120 |
160 |
200 |
300 |
375 |
500 |
750 |
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输出电流平均值（A） |
30 |
50 |
75 |
100 |
150 |
200 |
300 |
500 |
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脉冲频率（Hz） |
1000-40000HZ |
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占空比（%） |
0~90连续可调 |
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灭弧时间（μs） |
≤10 |
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输出波形 |
矩形方波 |
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控制方式 |
IGBT全逆变 |
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温度控制方式 |
在触摸屏上预置温度、自动控制，PID连续调节、4-20mA输出 | |||||||
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温度控制精度 |
±1℃ |
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压力控制方式 |
在触摸屏上预置压力、自动控制，PID连续调节、4-20mA输出 | |||||||
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压力控制精度 |
±1Pa | |||||||
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流量控制方式 |
在触摸屏上预置流量、自动控制，PID连续调节、4-20mA输出 | |||||||
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流量控制精度 |
±0.5% | |||||||
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辅助电阻加热温度 |
≥400℃ | |||||||
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电阻加热 |
三区独立控温均匀分布在炉筒内圆周上中下位置 | |||||||
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电阻加热功率控制方式 |
周波控制 | |||||||
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电阻加热温度控制方式 |
在触摸屏上预置温度、自动控制，PID连续调节、4-20mA输出 | |||||||
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备注：根据用户工艺需要，可以定制脉冲频率 |
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