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真空炉体系统
炉体系统一般由真空炉体、真空产生与维持系统、供气调节系统和真空测量与控制系统等四部分组成,这是工艺生产的载体。其中炉体以钟罩式结构为主。
直流脉冲离子渗氮电源系列(PN-Ⅲ,PN-Ⅳ)
直流脉冲离子渗氮电源系列(PN-Ⅲ,PN-Ⅳ)的主要技术指标
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